公布日：2022.06.24
申請(qǐng)日：2022.03.25
分類號(hào)：C02F9/12(2006.01)I;C02F1/48(2006.01)I;C02F103/34(2006.01)N;C02F101/14(2006.01)N
摘要
本申請(qǐng)公開了一種含氟廢水回收的方法及系統(tǒng)，涉及半導(dǎo)體加工技術(shù)領(lǐng)域，方法包括收集半導(dǎo)體設(shè)備加工過程中生成的含氟廢水；對(duì)所述含氟廢水進(jìn)行化學(xué)沉淀處理，得到污水混合物；其中，所述污水混合物包括混合廢水；在所述混合廢水中加入磁粉進(jìn)行絮凝，得到磁粉沉淀物以及第一濾水；將所述磁粉沉淀物進(jìn)行磁粉分離，得到第一污泥沉淀以及所述磁粉；將所述第一污泥沉淀輸送至污泥資源回收系統(tǒng)進(jìn)行回收使用，并將所述第一濾水進(jìn)行純水過濾，得到第二濾水；將所述第二濾水輸送至所述半導(dǎo)體設(shè)備進(jìn)行循環(huán)使用。系統(tǒng)應(yīng)用上述方法，本申請(qǐng)實(shí)施例能實(shí)現(xiàn)含氟廢水的零排放以及提升循環(huán)使用率，相對(duì)于現(xiàn)有技術(shù)的采用化學(xué)藥劑的方式，循環(huán)使用率更高。
權(quán)利要求書
1.一種含氟廢水回收的方法，其特征在于，包括：收集半導(dǎo)體設(shè)備加工過程中生成的含氟廢水；對(duì)所述含氟廢水進(jìn)行化學(xué)沉淀處理，得到污水混合物；其中，所述污水混合物包括混合廢水；在所述混合廢水中加入磁粉進(jìn)行絮凝，得到磁粉沉淀物以及第一濾水；將所述磁粉沉淀物進(jìn)行磁粉分離，得到第一污泥沉淀以及所述磁粉；將所述第一污泥沉淀輸送至污泥資源回收系統(tǒng)進(jìn)行回收使用，并將所述第一濾水進(jìn)行純水過濾，得到第二濾水；將所述第二濾水輸送至所述半導(dǎo)體設(shè)備進(jìn)行循環(huán)使用。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的含氟廢水回收的方法，其特征在于，所述污水混合物還包括第二污泥沉淀；所述方法還包括：將所述第二污泥沉淀輸送至污泥資源回收系統(tǒng)進(jìn)行回收使用。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的含氟廢水回收的方法，其特征在于，所述將所述第一濾水進(jìn)行純水過濾，得到第二濾水，包括：將所述第一濾水分別進(jìn)行微過濾以及反滲透過濾，得到第三濾水；將所述第三濾水進(jìn)行超純水過濾，得到所述第二濾水。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的含氟廢水回收的方法，其特征在于，在進(jìn)行超純水過濾之前，所述方法還包括：將一部分的所述第三濾水回流以用于稀釋收集的所述含氟廢水。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的含氟廢水回收的方法，其特征在于，在進(jìn)行超純水過濾之前，所述方法還包括：將除回流以外的所述第三濾水進(jìn)行殺菌處理。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的含氟廢水回收的方法，其特征在于，所述方法還包括：根據(jù)預(yù)設(shè)的回流條件，將部分所述第二濾水回流以用于稀釋收集的所述含氟廢水。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的含氟廢水回收的方法，其特征在于，所述在所述混合廢水中加入磁粉進(jìn)行絮凝，得到磁粉沉淀物以及第一濾水，包括：根據(jù)所述混合廢水的容量、氟化鈣的濃度，獲取待加入磁粉的劑量；將確定劑量的所述磁粉加入到所述混合廢水中進(jìn)行絮凝，得到磁粉沉淀物以及第一濾水。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的含氟廢水回收的方法，其特征在于，所述將所述磁粉沉淀物進(jìn)行磁粉分離，得到第一污泥沉淀以及所述磁粉，包括：通過回流泵將所述磁粉沉淀物輸送至磁粉分離裝置；通過所述磁粉分離裝置將所述磁粉沉淀物分離，得到第一污泥沉淀以及所述磁粉。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的含氟廢水回收的方法，其特征在于，所述對(duì)所述含氟廢水進(jìn)行化學(xué)沉淀處理，得到污水混合物，包括：獲取所述含氟廢水的PH值；根據(jù)所述PH值，對(duì)所述含氟廢水進(jìn)行中和處理；向中和處理后的所述含氟廢水中加入氯化鈣，得到污水混合物。
10.一種含氟廢水回收的系統(tǒng)，其特征在于，應(yīng)用于權(quán)利要求1至9任一所述的含氟廢水回收的方法，所述含氟廢水回收的系統(tǒng)包括：收集池，所述收集池用于收集半導(dǎo)體設(shè)備加工過程中生成的含氟廢水；反應(yīng)池，所述反應(yīng)池用于對(duì)所述含氟廢水進(jìn)行化學(xué)沉淀處理，得到污水混合物；其中，所述污水混合物包括混合廢水；沉淀池，所述沉淀池用于在所述混合廢水中加入磁粉進(jìn)行絮凝，得到磁粉沉淀物以及第一濾水；磁粉分離裝置，所述磁粉分離裝置用于將所述磁粉沉淀物進(jìn)行磁粉分離，得到第一污泥沉淀以及所述磁粉；過濾系統(tǒng)，所述過濾系統(tǒng)用于將所述第一濾水進(jìn)行純水過濾，得到第二濾水；并將所述第二濾水輸送至所述半導(dǎo)體設(shè)備以進(jìn)行循環(huán)使用；污泥資源回收系統(tǒng)，所述污泥資源回收系統(tǒng)用于將所述第一污泥沉淀進(jìn)行回收使用。
發(fā)明內(nèi)容
本申請(qǐng)旨在至少解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的技術(shù)問題之一。為此，提出一種含氟廢水回收的方法及系統(tǒng)，能提升含氟廢水的循環(huán)使用率。
第一方面，根據(jù)本申請(qǐng)實(shí)施例的一種含氟廢水回收的方法，所述含氟廢水回收的方法包括：
收集半導(dǎo)體設(shè)備加工過程中生成的含氟廢水；
對(duì)所述含氟廢水進(jìn)行化學(xué)沉淀處理，得到污水混合物；其中，所述污水混合物包括混合廢水；
在所述混合廢水中加入磁粉進(jìn)行絮凝，得到磁粉沉淀物以及第一濾水；
將所述磁粉沉淀物進(jìn)行磁粉分離，得到第一污泥沉淀以及所述磁粉；
將所述第一污泥沉淀輸送至污泥資源回收系統(tǒng)進(jìn)行回收使用，并將所述第一濾水進(jìn)行純水過濾，得到第二濾水；
將所述第二濾水輸送至所述半導(dǎo)體設(shè)備進(jìn)行循環(huán)使用。
第二方面，根據(jù)本申請(qǐng)實(shí)施例提出的一種含氟廢水回收的系統(tǒng)，應(yīng)用第一方面任一所述的含氟廢水回收的方法，所述含氟廢水回收的系統(tǒng)包括：
收集池，所述收集池用于收集半導(dǎo)體設(shè)備加工過程中生成的含氟廢水；
反應(yīng)池，所述反應(yīng)池用于對(duì)所述含氟廢水進(jìn)行化學(xué)沉淀處理，得到污水混合物；其中，所述污水混合物包括混合廢水；
沉淀池，所述沉淀池用于在所述混合廢水中加入磁粉進(jìn)行絮凝，得到磁粉沉淀物以及第一濾水；
磁粉分離裝置，所述磁粉分離裝置用于將所述磁粉沉淀物進(jìn)行磁粉分離，得到第一污泥沉淀以及所述磁粉；
過濾系統(tǒng)，所述過濾系統(tǒng)用于將所述第一濾水進(jìn)行純水過濾，得到第二濾水；并將所述第二濾水輸送至所述半導(dǎo)體設(shè)備以進(jìn)行循環(huán)使用；
污泥資源回收系統(tǒng)，所述污泥資源回收系統(tǒng)用于將所述第一污泥沉淀進(jìn)行回收使用。
根據(jù)本申請(qǐng)的上述實(shí)施例，至少具有如下有益效果：通過磁粉對(duì)中和后得到的混合廢水進(jìn)行物理絮凝，并對(duì)絮凝后的磁粉沉淀物進(jìn)行分離，以進(jìn)行磁粉的重復(fù)使用和第一污泥沉淀循環(huán)回收使用，并將絮凝后的第一濾水進(jìn)行純水過濾并循環(huán)使用，實(shí)現(xiàn)含氟廢水的零排放以及提升循環(huán)使用率，相對(duì)于現(xiàn)有技術(shù)的采用化學(xué)藥劑的方式，循環(huán)使用率更高。
（發(fā)明人：鄧海;孟兵華;劉小紅;肖應(yīng)東）
