申請(qǐng)日2015.07.16

　　公開(公告)日2015.11.04

　　IPC分類號(hào)B08B3/02; B24D18/00

　　摘要

　　一種采用高壓水處理拋光布表面的裝置，適用于單晶硅拋光片生產(chǎn)中，對(duì)拋光布進(jìn)行表面預(yù)處理。本實(shí)用新型中的柱塞泵(3)將純水管路(1)中的純水施加壓力后進(jìn)入高壓供純水供給裝置(4)并經(jīng)高壓純水管(5)將高壓純水通過(guò)噴頭(8)噴射到需處理的拋光布上。噴頭(8)安裝在拋光機(jī)主轉(zhuǎn)盤(10)邊部的擺臂(7)上，可隨拋光機(jī)主轉(zhuǎn)盤(10)自拋光機(jī)大盤邊緣到中心輪附近再回到拋光機(jī)主轉(zhuǎn)盤(10)邊緣，完成一個(gè)擺動(dòng)周期。刷子(9)與拋光布表面在工作中并不接觸，沒(méi)有相互摩擦，不對(duì)拋光布造成損傷。本實(shí)用新型提高了拋光布的使用壽命，降低了生產(chǎn)成本，減輕了勞動(dòng)強(qiáng)度，提高了工作效率。

　　權(quán)利要求書

　　1.一種采用高壓水處理拋光布表面的裝置，其特征是：所述的一種采用高壓水處理拋光布表面的裝置，主要由柱塞泵(3)、高壓純水供給裝置(4)、高壓純水管(5)、驅(qū)動(dòng)電機(jī)(6)、擺臂(7)、噴頭(8)、刷子(9)、構(gòu)成;其中柱塞泵(3)安裝在工廠系統(tǒng)純水管路(1)上，并與工廠系統(tǒng)的壓縮空氣管路(2)連接;高壓純水供給裝置(4)通過(guò)管路與柱塞泵(3)連接在一起;噴頭(8)和刷子(9)都裝在拋光機(jī)主轉(zhuǎn)盤(10)邊部擺臂(7)的同一端，噴頭(8)安裝在刷子(9)的中間位置;驅(qū)動(dòng)電機(jī)(6)安裝在擺臂(7)的另一端;高壓純水管(5)一端接在高壓純水供給裝置(4)上，另一端穿過(guò)擺臂(7)與噴頭(8)連接。

　　2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種采用高壓水處理拋光布表面的裝置，其特征是：裝在拋光機(jī)主轉(zhuǎn)盤(10)邊部擺臂(7)上的刷子(9)和噴頭(8)可隨拋光機(jī)主轉(zhuǎn)盤(10)均勻轉(zhuǎn)動(dòng)。

　　說(shuō)明書

　　一種采用高壓水處理拋光布表面的裝置

　　技術(shù)領(lǐng)域

　　本實(shí)用新型屬于單晶硅片拋光生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域，主要涉及一種采用高壓水處理拋光布表面的裝置。

　　背景技術(shù)

　　單晶硅拋光片生產(chǎn)中，無(wú)論其工藝采用有蠟還是無(wú)蠟，均需要在硅片拋光前，以及前后兩次的生產(chǎn)間隙對(duì)拋光布進(jìn)行表面預(yù)處理。刷去上次拋光過(guò)程中殘留在拋光布纖維中的拋光液殘留，使拋光布表面蓬松，以便在接下來(lái)的拋光過(guò)程中能蓄含更多的拋光液，對(duì)硅片能有效地產(chǎn)生物理化學(xué)作用，從而達(dá)到更好的拋光效果,此工藝過(guò)程在生產(chǎn)中稱為“刷布”。

　　目前，傳統(tǒng)的刷布方式有兩種：

　　1、操作工人用一定硬度的毛刷在拋光機(jī)大盤運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)用適當(dāng)?shù)牧α堪磯涸趻伖獠忌?并隨著拋光布主轉(zhuǎn)盤的運(yùn)轉(zhuǎn)由靠近圓心的部分逐漸均勻地向外移動(dòng)到拋光布的邊緣，一般要重復(fù)2-3次，來(lái)完成刷布的過(guò)程。

　　2、將一個(gè)與載體板大小相同的圓盤形刷子放置在主轉(zhuǎn)盤上，在主轉(zhuǎn)盤運(yùn)行時(shí)，降下壓頭壓住刷子，按工藝設(shè)定的刷布時(shí)間完成刷布，此過(guò)程雖可在機(jī)械臂參與下完成，但仍需操作者在設(shè)備上對(duì)相應(yīng)的按鈕進(jìn)行操作來(lái)執(zhí)行。

　　這種傳統(tǒng)的刷布方式存在問(wèn)題有：1、第一種因操作工用力大小、每次操作時(shí)向外移動(dòng)的速率均無(wú)法控制，造成刷布效果亦無(wú)法控制;第二種雖然在壓力、速度、時(shí)間等參數(shù)上可以保障刷布過(guò)程的一致性，但刷子與拋光布只有原地旋轉(zhuǎn)，而沒(méi)有從圓心向外的掃除動(dòng)作，刷下的拋光液殘留、刮下的拋光布碎屑以及刷子磨損碎屑、顆粒不能及時(shí)沖走，又可能被旋轉(zhuǎn)的刷子帶入到主轉(zhuǎn)盤的中心位置。其后果則是在拋光片生產(chǎn)的產(chǎn)品中表現(xiàn)出來(lái)硅片表面會(huì)有各種劃道、沾污等缺陷。2、傳統(tǒng)刷布無(wú)論哪一種方法均會(huì)使拋光布的非工作磨損增加，壽命降低，成本提高;3、傳統(tǒng)刷布方式無(wú)論上述哪一種均需人工操作，存在人為因素造成的風(fēng)險(xiǎn)且不利于自動(dòng)化連續(xù)生產(chǎn)，影響生產(chǎn)效率。

　　實(shí)用新型內(nèi)容

　　鑒于現(xiàn)有技術(shù)中所存在的問(wèn)題，本實(shí)用新型提出并公開了一種采用高壓水處理拋光布表面的裝置，本裝置以壓縮空氣為動(dòng)力源的柱塞泵給純水施加以高壓，高壓水通過(guò)一個(gè)小孔徑的噴頭將高壓純水噴射到需要處理的拋光布 上，利用小水珠所攜帶的動(dòng)能將嵌入拋光布纖維中的拋光液殘留沖刷出來(lái)。所設(shè)計(jì)的刷子與拋光布表面在工作中并不接觸，避免了刷子與拋光布表面機(jī)械摩擦造成的非工作磨損以及由于相互摩擦而產(chǎn)生的碎屑顆粒沾污硅片。為實(shí)現(xiàn)上述發(fā)明目的，本實(shí)用新型所采取的具體技術(shù)方案是：一種采用高壓水處理拋光布表面的裝置，主要是由柱塞泵、高壓純水供給裝置、高壓純水管、驅(qū)動(dòng)電機(jī)、噴頭、刷子構(gòu)成;其中，柱塞泵安裝在拋光機(jī)工廠系統(tǒng)純水管路上，并與工廠系統(tǒng)的壓縮空氣管路連接;高壓純水供給裝置通過(guò)管路與柱塞泵連接;刷子安裝在拋光機(jī)主轉(zhuǎn)盤邊部的擺臂上的一端，噴頭裝在刷子的中間并與擺臂連接;擺臂的另一端安裝有驅(qū)動(dòng)電機(jī)，高壓純水管一端與高壓純水供給裝置連接，另一端穿過(guò)擺臂內(nèi)部與噴頭連接。所述的一種采用高壓水處理拋光布表面的裝置，其中安裝在拋光機(jī)主轉(zhuǎn)盤邊部擺臂上的刷子和噴頭可隨拋光機(jī)主轉(zhuǎn)盤均勻轉(zhuǎn)動(dòng)。

　　本實(shí)用新型所述的一種采用高壓水處理拋光布表面的裝置，克服了現(xiàn)有技術(shù)的不足，實(shí)現(xiàn)了拋光布清洗處理過(guò)程的自動(dòng)化，即能滿足對(duì)拋光布清洗的工藝要求，也避免了拋光布的非工作磨損，提高了拋光布的使用壽命，降低了生產(chǎn)成本，減輕了工人的勞動(dòng)強(qiáng)度，提高了工作效率。