公布日：2022.02.18
申請(qǐng)日：2021.12.03
分類號(hào)：F28D7/00(2006.01)I;F28F1/08(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I
摘要
本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造中的廢水的利用方法，包括以下步驟：采集廢水，然后將廢水和來自管網(wǎng)的自來水分別引入管殼式換熱器的管程和殼程進(jìn)行換熱。本發(fā)明的利用方法能夠?qū)U水中的低品位熱能利用起來，在夏季和冬季對(duì)溫度偏高和偏低的工藝用水進(jìn)行預(yù)先的冷卻或加熱，相比于直接加熱或冷卻工藝用水，本發(fā)明的方法能夠起到降低能耗的作用。
權(quán)利要求書
1.半導(dǎo)體制造中的廢水的利用方法，其特征在于包括以下步驟：采集廢水的步驟，將廢水和來自管網(wǎng)的自來水分別引入管殼式換熱器的管程和殼程進(jìn)行換熱。
2.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體制造中的廢水的利用方法，其特征在于所述的廢水是晶圓的清洗廢水。
3.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體制造中的廢水的利用方法，其特征在于所述的管殼式換熱器的管程采用波節(jié)管。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的主要目的在于利用半導(dǎo)體廢水的低品位熱能解決工藝用水在夏季和冬季溫度偏高和偏低的問題。
為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供一種半導(dǎo)體制造中的廢水的利用方法，包括以下步驟：
采集廢水的步驟，
將廢水和來自管網(wǎng)的自來水分別引入管殼式換熱器的管程和殼程進(jìn)行換熱。
在本發(fā)明的一些實(shí)施例中，所述的廢水是晶圓的清洗廢水。
在本發(fā)明的一些實(shí)施例中，所述的管殼式換熱器的管程采用波節(jié)管。
本發(fā)明的利用方法能夠?qū)U水中的低品位熱能利用起來，在夏季和冬季對(duì)溫度偏高和偏低的工藝用水進(jìn)行預(yù)先的冷卻或加熱，相比于直接加熱或冷卻工藝用水，本發(fā)明的方法能夠起到降低能耗的作用。
（發(fā)明人：王奇平）
