公布日：2022.04.15
申請(qǐng)日：2022.01.17
分類號(hào)：C02F9/06(2006.01)I;C01C1/16(2006.01)I;C02F101/14(2006.01)N
摘要
本發(fā)明提供一種低濃度含氟廢水的處理方法，用于蝕刻廢液處理工藝的后續(xù)處理，降低能耗費(fèi)用的同時(shí)，回收得到高濃度的氟化氫銨溶液，提高資源利用效果，并降低排放水的的含氟量，保證環(huán)境安全；其包括以下步驟，將含氟處理廢水通入預(yù)反應(yīng)罐與回收氫氟酸溶液進(jìn)行預(yù)處理，得到氟化氫銨溶液；然后通入微濾過(guò)濾器進(jìn)行過(guò)濾，再采用電滲析裝置進(jìn)行兩級(jí)電滲析處理，一級(jí)電滲析裝置處理得到一級(jí)淡水和一級(jí)濃水，一級(jí)淡水進(jìn)入淡水儲(chǔ)罐，一級(jí)濃水經(jīng)一級(jí)濃水罐進(jìn)入二級(jí)電滲析裝置處理得到二級(jí)淡水和二級(jí)濃水，二級(jí)淡水回用于一級(jí)電滲析裝置，二級(jí)濃水進(jìn)入濃水儲(chǔ)罐。
權(quán)利要求書(shū)
1.一種低濃度含氟廢水的處理方法，其特征在于，其包括以下步驟，S1：將氟化銨質(zhì)量分?jǐn)?shù)為0.5-5%的含氟處理廢水通入預(yù)反應(yīng)罐，加入質(zhì)量分?jǐn)?shù)為10-50%的回收氫氟酸溶液進(jìn)行預(yù)處理，所述含氟處理廢水與所述回收氫氟酸溶液的用量為所述氟化銨和氫氟酸的摩爾比1：1.05-1：1.2，常溫常壓下反應(yīng)15-30分鐘，得到氟化氫銨溶液；S2：然后通入微濾過(guò)濾器進(jìn)行過(guò)濾，并控制所述氟化氫銨溶液通過(guò)所述微濾過(guò)濾器的壓力為0.5mpa±0.05mpa；得到氟化氫銨過(guò)濾液；S3：再采用電滲析裝置進(jìn)行兩級(jí)電滲析處理，一級(jí)電滲析裝置處理2h，得到一級(jí)淡水和一級(jí)濃水，所述一級(jí)濃水經(jīng)一級(jí)濃水罐進(jìn)入二級(jí)電滲析裝置，所述一級(jí)淡水進(jìn)入淡水儲(chǔ)罐，所述二級(jí)電滲析裝置處理1h，得到二級(jí)淡水和二級(jí)濃水，所述二級(jí)淡水回用于所述一級(jí)電滲析裝置，所述二級(jí)濃水進(jìn)入濃水儲(chǔ)罐。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種低濃度含氟廢水的處理方法，其特征在于：S2中，過(guò)濾時(shí)，使用增壓泵控制所述壓力。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種低濃度含氟廢水的處理方法，其特征在于：S2中，所述微濾過(guò)濾器采用聚四氟乙烯（PTFE）濾芯，膜孔徑為10μm。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種低濃度含氟廢水的處理方法，其特征在于：S3中，所述電滲析裝置的電滲析膜為均相膜。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種低濃度含氟廢水的處理方法，其特征在于：S3中，所述電滲析裝置的電極為鈦涂銥鉭電極。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種低濃度含氟廢水的處理方法，其特征在于：S1中，所述預(yù)反應(yīng)罐設(shè)有攪拌裝置。
發(fā)明內(nèi)容
針對(duì)現(xiàn)有蝕刻廢液蒸發(fā)濃縮處理工藝得到的處理廢水含氟量不達(dá)標(biāo)、直接排放導(dǎo)致環(huán)境污染，回用于廢液處理工藝耗能較大的缺點(diǎn)，本發(fā)明提供了一種低濃度含氟廢水的處理方法，用于蝕刻廢液處理工藝的后續(xù)處理，降低能耗費(fèi)用的同時(shí)，回收得到高濃度的氟化氫銨溶液，提高資源利用效果，并降低排放水的的含氟量，保證環(huán)境安全。
本發(fā)明采用如下技術(shù)方案：其特征在于，其包括以下步驟，S1：將氟化銨質(zhì)量分?jǐn)?shù)為0.5-5%的含氟處理廢水通入預(yù)反應(yīng)罐，加入質(zhì)量分?jǐn)?shù)為10-50%的回收氫氟酸溶液進(jìn)行預(yù)處理，所述含氟處理廢水與所述回收氫氟酸溶液的用量為所述氟化銨和氫氟酸的摩爾比1：1.05-1：1.2，常溫常壓下反應(yīng)15-30分鐘，得到氟化氫銨溶液；S2：然后通入微濾過(guò)濾器進(jìn)行過(guò)濾，并控制所述氟化氫銨溶液通過(guò)所述微濾過(guò)濾器的壓力為0.5mpa±0.05mpa；得到氟化氫銨過(guò)濾液；S3：再采用電滲析裝置進(jìn)行兩級(jí)電滲析處理，一級(jí)電滲析裝置處理2h，得到一級(jí)淡水和一級(jí)濃水，所述一級(jí)濃水經(jīng)一級(jí)濃水罐進(jìn)入二級(jí)電滲析裝置，所述一級(jí)淡水進(jìn)入淡水儲(chǔ)罐，所述二級(jí)電滲析裝置處理1h，得到二級(jí)淡水和二級(jí)濃水，所述二級(jí)淡水回用于所述一級(jí)電滲析裝置，所述二級(jí)濃水進(jìn)入濃水儲(chǔ)罐。
其進(jìn)一步特征在于：S2中，過(guò)濾時(shí)，使用增壓泵控制所述壓力；S2中，所述微濾過(guò)濾器采用聚四氟乙烯（PTFE）濾芯，膜孔徑為10μm；S3中，所述電滲析裝置的電滲析膜為均相膜；S3中，所述電滲析裝置的電極為鈦涂銥鉭電極；S1中，所述預(yù)反應(yīng)罐設(shè)有攪拌裝置。
本發(fā)明的有益效果是：本方法用于蝕刻廢液處理工藝的后續(xù)處理，工藝簡(jiǎn)單，不僅可避免次生危廢或者產(chǎn)生二次污染，而且在降低能耗費(fèi)用的同時(shí)，可回收得到較高濃度的氟化氫銨溶液，回用于蝕刻廢液處理工藝的蒸發(fā)系統(tǒng)、提高資源的利用效果，經(jīng)本方法后還可降低排放水的的含氟量，使其符合排放標(biāo)準(zhǔn)，保證環(huán)境安全，或者用于其他處理工藝中的沖洗水、循環(huán)冷卻水的用水點(diǎn)，提高資源利用率。
（發(fā)明人：邱立京;王堃;劉圍;周漪雯）
