超純水又稱高純水，是指將水中的導(dǎo)電介質(zhì)幾乎全部去除，又將水中不離解的膠體物質(zhì)、氣體和有機(jī)物均去除至很低程度的水，。超純水的含鹽量在0. 1mg/L以下,電導(dǎo)率小于0. 1μs/cm。 

超純水除了對(duì)含鹽量或電導(dǎo)率有嚴(yán)格要求外，對(duì)水中各種金屬離子含量，有機(jī)物含量、微粒粒徑及數(shù)量和微生物數(shù)量也有嚴(yán)格指標(biāo)限制。