摘要：針對硅太陽能電池的生產(chǎn)過程中排放的廢水性質(zhì)，對相應(yīng)的廢水處理工藝及廢水站進(jìn)行分析介紹，以期盡可能控制電池生產(chǎn)中的廢水污染，為硅晶電池生產(chǎn)線的廢水處理系統(tǒng)設(shè)計提供參考和借鑒。

關(guān)鍵詞：酸洗制絨、含氟廢水、含IPA廢水、含鉻廢水

1、概述

盡管太陽能是綠色能源，且太陽能電池廠排放的污染物，與石油、煤炭行業(yè)相比，對環(huán)境的污染要少很多。但由于目前國內(nèi)太陽能產(chǎn)業(yè)技術(shù)落后、政策不完善等原因，電池生產(chǎn)過程在國內(nèi)仍存在較嚴(yán)重的污染。對電池生產(chǎn)的廢水污染的控制是一個不可回避的現(xiàn)實問題。

2、硅太陽能電池的生產(chǎn)廢水濃度和性質(zhì)分析

硅太陽能電池生產(chǎn)中在腐蝕清洗、去磷硅玻璃和石英管清洗等工藝過程中須使用KOH、IPA、鉻酸、HF、HCl、H2SO4等化學(xué)藥品，相應(yīng)的產(chǎn)生含IPA濃廢液廢水和含氟廢液廢水、含鉻廢水。硅太陽能電池的主要生產(chǎn)工序如下：

清洗：清洗的主要目的是去除硅片上的污物。

制絨：硅晶太陽能電池的制絨工藝是加入鉻酸或HNO3、HF、H2SO4的強氧化性溶液將切割后硅片上的污物清除，在硅片上形成減反織構(gòu)。

擴(kuò)散：磷擴(kuò)散是在硅片表層摻入純雜質(zhì)原子的過程。

刻蝕、去PSG：利用HF溶液對硅片邊緣進(jìn)行腐蝕，去除硅片邊緣的PN結(jié)。

去PSG是對刻蝕后硅片上的磷硅玻璃用氫氟酸等清洗的方法進(jìn)行清除。具體參見http://www.northcarolinalenders.com更多相關(guān)技術(shù)文檔。

等離子化學(xué)氣相沉積(PECVD)：PECVD被使用來在硅片上沉積氮化硅材料。

絲網(wǎng)印刷：是通過絲網(wǎng)印刷機將銀漿或鋁漿等導(dǎo)電材料印刷在硅片上。

詳情請下載附件：硅太陽能電池生產(chǎn)線廢水處理及回用工藝