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多晶硅廢水處理方法

中國污水處理工程網(wǎng) 時間:2012-8-25 11:46:57

污水處理技術(shù) | 匯聚全球環(huán)保力量,降低企業(yè)治污成本

多晶硅是制造集成電路、光伏太陽能電池的關(guān)鍵基礎(chǔ)材料。是國家發(fā)展信息產(chǎn)業(yè)和光伏新能源產(chǎn)業(yè)的重要基石。然而在生產(chǎn)過程中,多晶硅生產(chǎn)企業(yè)產(chǎn)生大量成分復(fù)雜的工業(yè)廢水,如不能很好地處理,勢必嚴重污染水體,危害環(huán)境。因此,如何處理生產(chǎn)廢水成為多晶硅生產(chǎn)企業(yè)環(huán)境治理必須解決的一個重大課題。

1多晶硅生產(chǎn)廢水的來源及特點

在多晶硅生產(chǎn)過程中需要對含硅原料用氫氟酸、硝酸等強酸進行適當?shù)母g,因此生產(chǎn)過程將產(chǎn)生大量酸性廢水。

1.1水質(zhì)分類及其來源

根據(jù)水質(zhì)分析,將多晶硅生產(chǎn)企業(yè)的廢水分為含氟酸性廢水、其他生產(chǎn)廢水和生活污水共3類。

(1)含氟酸性廢水。主要來自洗料車間多晶硅原料的浸泡工段、清洗工段以及酸霧處理中噴淋塔排出的噴淋廢水等。根據(jù)含氟離子的濃度大小,又將其分為高氟廢水和低氟廢水。

(2)其他生產(chǎn)廢水。主要指清洗劑、切割液等類物質(zhì)的清洗廢水、堿洗塔廢水等,這類廢水不含F(xiàn)-。

(3)生活污水。主要來源于生產(chǎn)區(qū)衛(wèi)生用水、生活行政區(qū)生活污水等。

1.2水質(zhì)特點分析

(1)由于其水量、水質(zhì)的變化幅度較大,pH值不穩(wěn)定,需要集中調(diào)節(jié)、中和處理。

(2)F-與硝酸根離子濃度高,需要針對性去除。不僅含氟量較高,且含有一定量的色度和懸浮物,因此處理難度大。高含氟廢水的F-質(zhì)量濃度在1.0—15g/L,低氟廢水的F-質(zhì)量濃度在200mg/L左右。

詳細內(nèi)容請查看附件部分:多晶硅生產(chǎn)企業(yè)廢水處理工程設(shè)計與應(yīng)用