1. 招標條件
本招標項目高精度光學膜厚測量系統(tǒng)（項目名稱）的招標人為中國航空工業(yè)集團公司西安飛行自動控制研究所，招標項目資金來自國撥資金。該項目已具備招標條件，現(xiàn)進行國內公開招標。
2. 項目概況與招標范圍
2.1 招標編號：TC2412PP1
2.2 項目名稱：高精度光學膜厚測量系統(tǒng)
2.3 數(shù)量：1套
2.4 技術規(guī)格：高精度光學膜厚測量設備，由橢偏儀部分和測控計算機部分組成。橢偏儀部分實現(xiàn)待測材料光學信息采集，包括光學雙臂（起偏臂，檢偏臂）、光源、多維樣品臺、微區(qū)可視相機、激光找平系統(tǒng)等。計算機部分控制橢偏儀操作與數(shù)據(jù)處理，包含數(shù)據(jù)分析軟件與材料庫。本設備用于快速無損精確獲取單層、多層各向同性/各向異性微納級別光學薄膜的折射率、膜厚和均勻性等光學參數(shù)信息測量表征。波長測量范圍：210nm-1690nm；厚度重復性優(yōu)于0.05nm。更多指標詳見第五章供貨要求。
2.5 交貨地點：用戶現(xiàn)場指定地點。
2.6 交貨期：合同簽字并蓋章生效后3個月內（含包裝運輸、現(xiàn)場安裝、調試、培訓等，達到交付與驗收狀態(tài)）
3. 投標人資格要求