摘要：采用中和—混凝法處理三氯氫硅生產(chǎn)過程中的尾氣洗滌廢水。經(jīng)實驗確定最佳工藝條件：中和后的懸浮液pH 為7~9，混凝劑聚合氯化鋁的投加質(zhì)量濃度為30 mg/L，快速攪拌30 min，慢速攪拌40 min，靜置60 min。實驗結(jié)果表明：在最佳工藝條件下對廢水進(jìn)行處理，出水無色透明，濁度和SS 的去除率均在97%以上，SiO2去除率在92%以上，可全部返至洗滌系統(tǒng)循環(huán)使用。

關(guān)鍵詞：中和；混凝；三氯氫硅；廢水處理

三氯氫硅（SiHCl3）是重要的有機硅單體，可用來合成有機硅偶聯(lián)劑和多晶硅等。某化工集團(tuán)以高純氯化氫氣體和金屬級單體硅為原料，在流化床中經(jīng)沸騰氯化、氣固分離、冷凝液化、精餾提純等工序制得SiHCl3產(chǎn)品。其合成尾氣和冷凝尾氣中含有大量SiH2Cl2、SiHCl3、SiCl4和HCl，生產(chǎn)中采用水洗工藝進(jìn)行脫除，水洗液入廢水池。該水洗液為過飽和硅酸溶液，長期放置會產(chǎn)生無定形的SiO2沉淀，并伴以膠態(tài)粒子或凝膠出現(xiàn)〔1〕，不僅酸度和SiO2含量嚴(yán)重超標(biāo)，而且濁度大、SS 高，不能回用于洗滌系統(tǒng)，也無法直接排放，嚴(yán)重影響了企業(yè)的正常生產(chǎn)運行， 目前尚無有效的處理工藝可供借鑒。筆者采用中和—混凝法處理SiHCl3尾氣洗滌廢水，以期為工程化應(yīng)用提供一定理論參考。來源：工業(yè)水處理

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