本項目租用蘭州新區(qū)專精特新化工產業(yè)孵化基地中試基地5#專用廠房（甲類），主要安裝反應釜、精餾器、污水預處理系統(tǒng)、尾氣吸收系統(tǒng)等，配電和控制依托園區(qū)配套，主要建設試驗磷烷混合氣（磷烷+氫氣、磷烷+氦氣、磷烷+氬氣、磷烷+氮氣）7500瓶/年，砷烷混合氣（砷烷+氫氣、砷烷+氦氣、砷烷+氬氣、砷烷+氮氣）3500瓶/年，硅烷、氯硅烷混合氣（硅烷+氫氣、硅烷+氦氣、硅烷+氬氣、硅烷+氮氣）1000瓶/年，乙硅烷混合氣（乙硅烷+氫氣）600瓶/年，三甲基硼烷混合氣（三甲基硼烷+氫氣）400瓶/年，二硼烷混合氣（二硼烷+氫氣）1000瓶/年，三氟化硼純氣3000瓶/年的生產工藝。
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